Основное

НЭ РБ 65-22 Национальный эталон единицы длины в нанометровом диапазоне 

BY

Багдюн Александр Андреевич, +375 17 239-23-38

01.05.2022

Постановление Госстандарта № 37 от 22 апреля 2022 г.

L-2.3.4, L-2.3.5, L-5.1.1

Работоспособен

2008-2009, 2022

Институт-хранитель
Краткое наименованиеБелГИМ
СтранаРеспублика Беларусь
Отдел института-хранителяПроизводственно-исследовательский отдел измерения геометрических величин
Юридический адресСтаровиленский тракт 93, г. Минск, 220053
Телефон+375 17 374 55 01
Область применения

Национальный эталон предназначен:

- для воспроизведения, хранения и передачи размера единицы длины в нанометровом диапазоне рабочим средствам измерений, применяемым в различных отраслях машиностроения и приборостроения с целью обеспечения единства измерений в Республике Беларусь;

- для поверки и калибровки эталонных мер высоты ступени и ширины шага, предназначенных для метрологической оценки микроскопов измерительных атомно-силовых и растровых электронных.

- для проведения исследований и измерений толщины тонких пленок методом спектральной эллипсометрии.

Описание

Основой национального эталона является наноимерительная машина NMM-1, так как именно она обеспечивает метрологическую прослеживаемость измерений к международным эталонам единицы длины и определению единицы длины-метра, как основной единице Международной системы единиц (СИ).

В основе принципа действия национального эталона лежит принцип Аббе, который гласит, что линия измерения должна совпадать с линией шкалы. Принцип Аббе реализован по всем трем координатным осям NMM-1. Измерение перемещений проводится тремя оптическими миниатюрными интерферометрами SP-500 (SIOS) с источниками излучений - стабилизированными по частоте HE-NE лазерами, установленными неподвижно на трех координатных осях  X, Y, Z.  Лучи лазеров отражаются от трех внешних полированных и металлизированных поверхностей подвижного монолитного углового зеркала, изготовленного из церодура с очень низким температурным коэффициентом линейного расширения 0,007×10-6 K-1. Отклонение от плоскостности поверхностей зеркала менее 10 нм. Измеряемый объект базируется на предметном столике непосредственно на поверхности углового зеркала и перемещается вместе с ним. Значение измеряемой величины определяется перемещением углового зеркала по заданной координате и измеряется соответствующим интерферометром. Оптическая и механическая части NMM-1 отъюстированы таким образом, что измерительные оси трех интерферометров и ось применяемого сенсора пересекаются в одной проектируемой точке –  точке контакта с измеряемым объектом.

Дополнительные оптические угловые датчики, установленные на раме, измеряют наклон углового зеркала относительно координатных осей X и Y.

Сенсоры, входящие в состав NMM-1 служат нуль-пунктами при проведении измерений.

Метрологические характеристики

Диапазон значений величины, который воспроизводит, хранит и передает национальный эталон, составляет

 - ось Х от 0,1 нм до 25 мм;

- ось Y от 0,1 нм до 25 мм;

- ось Z от 0,1 нм до 5 мм.

Случайная погрешность , не более, нм

0,03·L

Примечание -  L – измеряемая длина, мкм 

Неисключенная систематическая погрешность ,не более, нм

(1,65 + 0,17·10-3·L

Погрешность передачи размера единицы величины Så, не более       

(1,65 + 0,03·L) нм, где L – измеряемая длина, мкм.

Расширенная неопределенность измерений, связанная с передачей  размера  единицы величины  от  эталона  мерам высоты ступени U = 2,4 нм   (k = 2, p = 95 %).

Расширенная неопределенность измерений, связанная с передачей  размера единицы величины от эталона мерам ширины шага U = 0,05 нм (k = 2, p = 95 %).

Дополнительно

-

-

Фотографии

    

Машина наноизмерительная NMM-1 с электронным блоком

Общий вид эллипсометра спектральныого фазомодулированного UVISEL Plus

Общий вид микроскопа визуального оптического Axio Scope 5

Шкаф ламинарный биологической беопасности 2 класса ESCO AC2-6D8

Состав эталона

Национальный эталон состоит из комплекса средств измерений и вспомогательного оборудования, в состав которого входят:

- машина  наноизмерительная NMM-1 заводской № 20020897 в комплекте:

          - атомно-силовой микроскоп (AFM);

          - сенсор лазерный бесконтактный  LFS1;

          - 2D интерферометр белого цвета;

          - 3D система зондирования GANNEN;

          - электронный блок;

          - компрессор для NMM-1;

          - программное обеспечение (далее ПО) для NMM-1;

- набор эталонных мер высоты ступени и ширины шага в комплекте:

- мера высоты ступени заводской № 12392-49-08;

                    - мера высоты ступени заводской № 12392-42-04;

                    - мера топографии поверхности заводской № 10577-003-107;

- меры высоты ступени компоновки А с номинальной высотой 7; 20; 70; 300; 800 нм заводские №№ С24 R21, C17 R13, C21 R21,  C 10 R26, C09 R06 соответственно;

- меры ширины шага (решетки) 2D100, 2D200, 2D300  заводские №№ 15038, 10030, 10020 соответственно;

 - эллипсометр спектральный фазомодулированный UVISEL Plus заводской № 1038 с комплектом эталонных мер толщины пленки 10; 50; 100; 390; 1050  нм;

- микроскоп визуальный оптический Axio Scope 5   заводской № 3365000144;

- счетчик частиц стационарный модели Aero Trak 7110-05  заводской № 71101919001;

- счетчик частиц переносной модели  Aero Trak 9510-02  заводской № 95101919003;

- шкаф ламинарный биологической беопасности 2 класса ESCO AC2-6D8 заводской № 2019-140631.

×
Навигация
×
Разделы фонда
  •  
    Оглавление
    •  
      Акты законодательства Республики Беларусь
      •  
        Законы Республики Беларусь
      •  
        Постановления Совета Министров Республики Беларусь
      •  
        Постановления Госстандарта
    •  
      Технические нормативные правовые акты Республики Беларусь (ТНПА)
      •  
        Технические кодексы установившейся практики (ТКП)
      •  
        Государственные стандарты Республики Беларусь (СТБ)
      •  
        Межгосударственные стандарты, принятые в качестве государственных (ГОСТ, ПМГ, РМГ)
    •  
      Документы СНГ и ЕАЭС
      •  
        Содружество независимых государств (СНГ)
      •  
        Евразийский экономический союз (ЕАЭС)
    •  
      Международные и региональные организации
      •  
        OIML (МОЗМ, Международная организация законодательной метрологии)
      •  
        BIPM (Международное бюро мер и весов)
      •  
        COOMET (Евро-Азиатское сотрудничество государственных метрологических учреждений)
      •  
        EURAMET (Региональная метрологическая организация Европы)
      •  
        EUROLAB (Европейская федерация национальных ассоциаций измерительных, испытательных и аналитических лабораторий)
      •  
        EURACHEM (Объединение организаций Европы по измерениям в области химии)
      •  
        WELMEC (Европейское сотрудничество в законодательной метрологии)
      •  
        ILAC (Международное сотрудничество в области аккредитации лабораторий)
      •  
        Цели, задачи и структура
      •  
        Государственная поверка
    •  
      Государственная метрологическая служба
    •  
      Уполномоченные юридические лица на осуществление работ в сфере законодательной метрологии
      •  
        Государственная поверка средств измерений
      •  
        Испытания в целях утверждения типа средства измерений
      •  
        Испытания в целях утверждения типа стандартного образца
      •  
        Калибровка средств измерений, применяемых при измерениях в сфере законодательной метрологии
      •  
        Метрологическая экспертиза в целях утверждения типа единичного экземпляра средства измерений
      •  
        Метрологическая экспертиза в целях утверждения типа единичного экземпляра стандартного образца
      •  
        Аттестация методик (методов) измерений, предназначенных для применения при измерениях в сфере законодательной метрологии
      •  
        Организация сличения результатов измерений, выполняемых в сфере законодательной метрологии
    •  
      Государственный реестр национальных эталонов единиц величин
      •  
        Национальные эталоны единиц величин Республики Беларусь
      •  
        Метрологическая прослеживаемость
    •  
      Государственный реестр средств измерений и стандартных образцов
      •  
        Государственный реестр средств измерений
      •  
        Государственный реестр стандартных образцов Республики Беларусь
      •  
        Признание первичной поверки, выполненной за рубежом
    •  
      Метрологическая аттестация средств измерений
    •  
      Аттестованные методики (методы) измерений
    •  
      Стандартные справочные данные
    •  
      Cличения результатов измерений
      •  
        О сличениях результатов измерений
      •  
        Уполномоченный орган по координации сличений результатов измерений - БелГИМ
      •  
        Организаторы программ сличений
      •  
        Реестр программ сличений
        •  
          Программы сличений в сфере испытаний/измерений
        •  
          Программы сличений в сфере поверки
        •  
          Программы сличений в сфере калибровки
        •  
          Планы
    •  
      Развитие ГМС и национальной эталонной базы
    •  
      Разъяснения и рекомендации
    •  
      Сведения о результатах государственной поверки средств измерений
    •  
      Федеральный информационный фонд по обеспечению единства измерений Российской Федерации
      •  
        Бобруйский ЦСМС
      •  
        Борисовский ЦСМС
      •  
        Брестский ЦСМС
      •  
        Витебский ЦСМС
      •  
        Гомельский ЦСМС
      •  
        Гродненский ЦСМС
      •  
        Калинковичский ЦСМС
      •  
        Лидский ЦСМС
      •  
        Могилевский ЦСМС
      •  
        Молодечненский ЦСМС
      •  
        Слуцкий ЦСМС