НЭ РБ 66-24 Национальный эталон единицы давления в области измерения вакуума
BY
Шавилков Эдуард Сергеевич, тел. 8 017 373 11 39, e-mail: shavilkov@belgim.by
НЭ РБ 66-24
БелГИМ, ФГУП «ВНИИМ им. Д.И.Менделеева»
Постановление Госстандарта № 3 от 24 января 2024 г. "Об утверждении национального эталона единицы величины Республики Беларусь"
Национальные эталоны
Производственно-исследовательский отдел измерений давления и расхода
нет
2024
Институт-хранитель |
Краткое наименование | БелГИМ |
---|---|
Страна | Республика Беларусь |
Отдел института-хранителя | Производственно-исследовательский отдел измерений давления и расхода |
Юридический адрес | г. Минск, Старовиленский тракт, 93, помещение 125 |
Телефон |
Национальный эталон предназначен для воспроизведения, хранения и передачи размера единицы давления в диапазоне от 1·10-6 до 1·105 Па.
Принцип действия национального эталона единицы давления в области измерения вакуума
Измерительную камеру установки вакуумметрической эталонной ВЭУ-Б № 01 откачивают до достижения остаточного давления Ро, связанного с нижним пределом Рmin диапазона измерений (преобразования) поверяемого (калибруемого) вакуумметра (преобразователя).
Поверку (калибровку) в диапазоне измерений от 1·10-6 до 1·105 Па и определения относительной погрешности измерений проводят путем сличения показаний вакуумметров, входящих в состав установки, и поверяемого (калибруемого) вакуумметра (преобразователя).
Для определения относительной погрешности при помощи высокоточного натекателя устанавливают необходимое значение давления в каждой исследуемой точке. Действительное значение заданного давления контролируют по показаниям эталона. После достижения в каждой исследуемой точке постоянства давления, регистрируют одновременно показания вакуумметра из состава установки и поверяемого (калибруемого) вакуумметра (преобразователя).
В диапазоне давлений от 1·10-1 до 1·104 Па для воспроизведения необходимого значения абсолютного давления также используют метод статического расширения, основанный на закон Бойля-Мариотта.
Воспроизводимый и хранимый национальным эталоном диапазон значений единицы давления от 1·10-6 до 1·105 Па.
Предельное остаточное давление: 1·10-7 Па.
не нормируется
Неисключенная систематическая погрешность:
±15 % в диапазоне от 1·10-6 до 1·10-1 Па;
±5 % в диапазоне свыше 1·10-1 до 1·103 Па;
±2 % в диапазоне свыше 1·103 до 1·105 Па.
не нормируется
Общий вид национального эталона единицы единицы давления в области измерения вакуума НЭ РБ 66-24 |
Национальный эталон состоит из установки вакуумметрической эталонной ВЭУ-Б (далее – установка), в которую встроена вакуумная откачная система с измерительной камерой, на которой установлены:
– вакуумметры ионизационные AIGX зав.№ 076406107;
– датчики давления МИДА-15 мод. МИДА-ДА-15-Э с верхним пределом измерений 1·105 Па и с верхним пределом измерений 2,5·104 Па.
Для создания и поддержания давления в измерительной камере установка укомплектована следующим оборудованием и средствами измерений:
– насос вакуумный спиральный (форвакуумный насос) HBCn-12 (диапазон поддержания давления от 1 до 1·105 Па);
– турбомолекулярный высоковакуумный насос КВТ-400 (диапазон поддержания давления от 1,3·10-5 до 6,5 Па) с преобразователем частоты ТМН № МГ-019/18;
– магниторазрядный высоковакуумный насос ПВИГ-100/160/9-018 (диапазон поддержания давления от 1·10-6 до 1·10-2 Па) с блоком питания БПМ-0,25 и блоком питания прямоканальных испарителей БППИ № 12;
– индикаторный вакуумметр сопротивления APG100-XLC и комбинированный блокировочный вакуумметр АВ 3599 с преобразователем низковакуумным ПМТ-6-3М, высоковакуумными преобразователями манометрическими ПММ-32-1, АВ3276;
– высокоточный натекатель и клапаны для регулирования давления в измерительной камере КВМ-25, КВЭ-25.
Для обезгаживания вакуумной откачной системы установка оснащена системой прогрева и терморегуляции, в состав которой входят:
– устройство прогрева, состоящее из прибора для измерения и регулирования температуры ТЕРМОДАТ-17Е6 и трех нагревательных кабельных секций ВТН в составе с силовыми блоками СБ15М3;
– термометры сопротивления ТС716А, предназначенные для измерения температуры измерительной камеры и вакуумной откачной системы установки;
– элементы теплоизоляции.
Конструктивно в установке выделена стойка управления, состоящая из следующих устройств и оборудования:
– устройство индикации измеряемого (воспроизводимого) давления, представленное контроллером TIC;
– устройство индикации и управления температурой ТЕРМОДАТ-17Е6;
– индикатор давления, представленный электронным блоком вакуумметра АВ 3599;
– панель индикации измеренных значений давления эталонными датчиками давления МИДА-15 мод. МИДА-ДА-15-Э;
– персональный компьютер с программным обеспечением «Задание давления измерительной камеры. 2310-1-2023», разработанным ФГУП «ВНИИМ им. Д.И. Менделеева», в том числе для регистрации результатов измерений эталонными датчиками;
– органы управления форвакуумными и высоковакуумными насосами.